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MEMS
MEMS是微机电系统的缩写。MEMS主要包括微型机□构、微型传感器、微型执行器和相应的∮处理电路等几部分，它是在融合多种◣微细加工技术，并应用现代信息技术●的最新成果的基础上发╳展起来的高科技前沿学科。 MEMS技术的发展......
